AMCs?

ACM(Airborne molecular contamination)是指对半导体工艺过程造成负面影响的各种化学污染物质(有机、碱性、酸性气体等)。

过滤器应用示例

产品介绍

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  01 CAFILDEX® SW series

  将多层Media层压在一起制成的板式产品，产品名称SW源于Sandwich制作方式。SW Media由多层组成，易于控制复合气体。可根据客户要求及现场情况定制框架材质与去除气体，是一款客户满意度较高的产品。

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  02 CAFILDEX® HECY series

  作为一种圆筒形产品，可直接进行安装而无需额外结构件（Buffer Frame）。采用SW Media，能够像SW series一样进行综合气体控制。采用经过铝anodizing处理的框架材质，主要用于FFU。

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  03 CAFILDEX® TY series

  Multi-Tray Type，面积较大，具有压力损失小的优点，Tray采用填充Pellet形状Media的制作方式，可根据搭配方式控制各种气体。另外，其特点是BOX采用SUS材质，可以半永久性使用，且可通过更换Tray节省运行维护费用。

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