大气环境事业

研发

关联公司介绍

吸附剂&化学过滤器

研发领域概要

研发方向

半导体、显示产业因高微细加工工艺而使集成化技术得到提升,为此控制无尘车间的微细颗粒和气体成分AMC*成为了必须条件。ECOPRO开展高性能吸附剂和化学过滤器研究,提供改善电子产品生产无尘车间及生活环境空气质量所需的解决方案。

* Airborne Molecular Contamination的缩写,指挥发性有机化合物、酸碱气体、臭氧等

主要研发领域

  • 开发高性能吸附剂、催化剂
  • 开发半导体、显示器Fab及工艺设备用AMC净化化学过滤器
  • 开发去除异味及有害气体的技术
  • 开发改善生活环境空气质量(IAQ: Indoor Air Quality)的过滤器

参考资料

物理吸附机制

化学吸附机制