大气环境事业

研发

化学空气过滤器

 

Chemical Air Filter

化学空气过滤器:化学空气过滤器可去除各种有害气体。

有助于提高需要微加工处理的工厂产品收率。同时,还能改善空气质量,有利于身体健康。

AMCs?

ACM(Airborne molecular contamination)是指对半导体工艺过程造成负面影响的各种化学污染物质(有机、碱性、酸性气体等)。

适用领域

  • 半导体、LCD等超精密制造工艺
  • 产生异味及有害气体的工业现场
  • 医院、博物馆、公共机关等需要清洁环境的领域

特点及优点

  • 去除效率达90%以上,使用寿命长久
  • 根据客户要求定制过滤器
  • 通过实现产品轻量化,安装操作更加容易
  • 优秀的价格竞争力
  • 从浸渍材料到成品组装及安装为止建立一体化服务

过滤器应用示例

产品介绍

  • 01 CAFILDEX® SW series

    将多层Media层压在一起制成的板式产品,产品名称SW源于Sandwich制作方式。SW Media由多层组成,易于控制复合气体。可根据客户要求及现场情况定制框架材质与去除气体,是一款客户满意度较高的产品。

  • 02 CAFILDEX® HECY series

    作为一种圆筒形产品,可直接进行安装而无需额外结构件(Buffer Frame)。采用SW Media,能够像SW series一样进行综合气体控制。采用经过铝anodizing处理的框架材质,主要用于FFU。

  • 03 CAFILDEX® TY series

    Multi-Tray Type,面积较大,具有压力损失小的优点,Tray采用填充Pellet形状Media的制作方式,可根据搭配方式控制各种气体。另外,其特点是BOX采用SUS材质,可以半永久性使用,且可通过更换Tray节省运行维护费用。